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氮化铝与铜的高温钎焊方法
发布时间:2006-12-06 浏览量:

219

    本发明涉及一种氮化铝和铜的高温钎焊工艺。其特征在于中间层组成为Ag40-75%,Cu10-45%,Ti0.1-8%,其余为Al、Ni、Zr、Co、Mn、W中的一种或几种(质量);高温钎焊温度不高于1000℃,时间不超过120分钟,压力不大于1兆帕,气氛为真空或非氧化性气氛。中间层以粉末直接均匀置于AlN基片和Cu之间;或将中间层粉末分散于由分散剂和有机粘结剂构成的溶液中得到涂层浆料再用丝网印刷法将涂层浆料涂布于AlN基板和Cu之间;或将中间层粉末压制成厚度不超过0.4mm的箔片后,置于AlN基片和Cu之间。本发明提供的钎焊工艺,保证了AlN和Cu结合强度,钎焊过程中没有引入氧化物和玻璃态物质,也没有氧化物或玻璃态物质生成,因此对AlN基板的性能基本无影响。

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